中触媒公布“一种非球形胶体二氧化硅及其制备 *** 和应用”专利
天眼查APP显示,近日,中触媒新材料股份有限公司申请的“一种非球形胶体二氧化硅及其制备 *** 和应用”专利公布。 摘要显示,本发明提供了一种非球形胶体二氧化硅及其制备 *** 和应用,属于抛光液技术领域。本发明首先将晶种二氧化硅溶液均匀分散在超纯水中,添加有机酸调节溶液pH为酸性,得到混合液A,将混合液A加热至预设温度,熟化一定时间,最终形成初步异形化胶体二氧化硅小颗粒。之后,匀速滴加硅酸烷基酯,直至颗粒生长至目标粒径,经加热浓缩除去醇,得到非球形胶体二氧化硅。本发明制备的所述胶体二氧化硅,非球形度高,稳定性和分散性好,能够作为CMP抛光液研磨粒子,且本发明的 *** 操作简单,成本低,适合规模化生产。 (:贺